Mesoscale Profile Measurement Improved by Intelligent Measurement Technology
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- TAKAMASU Kiyoshi
- 東京大学大学院工学系研究科
Bibliographic Information
- Other Title
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- 知的計測技術によるメソスケール形状測定
- チテキ ケイソク ギジュツ ニ ヨル メソスケール ケイジョウ ソクテイ
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Journal
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- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering 74 (3), 213-216, 2008
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204797820672
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- NII Article ID
- 110006647618
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- NII Book ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL BIB ID
- 9409406
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles