マイクロバブルの基礎と半導体洗浄への応用

書誌事項

タイトル別名
  • Microbubble : Fundamental Properties and Application for Semiconductor Cleaning
  • マイクロバブル ノ キソ ト ハンドウタイ センジョウ エ ノ オウヨウ

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収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 83 (7), 636-640, 2017

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (4)*注記

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参考文献 (6)*注記

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