Ultra-finished Surface Areal-topography Analysis Based on Total Angle-resolved Laser Light Scattering
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- TAKAYA Yasuhiro
- 大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
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- HAYASHI Terutake
- 大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
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- MICHIHATA Masaki
- 大阪大学大学院工学研究科機械工学専攻
Bibliographic Information
- Other Title
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- 全方位角度分解散乱光計測による加工表面性状解析技術
- ゼンホウイ カクド ブンカイ サンランコウ ケイソク ニ ヨル カコウ ヒョウメン セイジョウ カイセキ ギジュツ
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Journal
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- Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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Journal of the Japan Society for Precision Engineering 80 (6), 514-518, 2014
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001204830344832
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- NII Article ID
- 130004745468
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- NII Book ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 1882675X
- 09120289
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- NDL BIB ID
- 025577122
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles