MEMS技術の変遷と応用

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1390001204995112448

• NII論文ID

  10024772688

• NII書誌ID

  AN10432927

• DOI

  10.1541/ieejjournal.129.307

• ISSN

  18814190

  13405551

• NDL書誌ID

  10292658

• Web Site

  http://id.ndl.go.jp/bib/10292658

  https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I10292658

  https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejjournal/129/5/129_5_307/_pdf

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles

• 抄録ライセンスフラグ

  使用不可