Crystalline Diamond Substrates for Power Devices

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  • パワーデバイス用ダイヤモンド結晶
  • パワーデバイスヨウ ダイヤモンド ケッショウ

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<p>1．はじめに</p><p>パワーデバイス応用に資するダイオードを作る場合，オン状態での高い伝導度に加えて，オフ状態での高い耐圧，さらに低い漏れ電流といった優れた逆方向特性が強く求められる。逆方向特性の改善には，高品質結晶の利用が不可欠である。パワーデバイス応用で先行している4H-SiCで</p>

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