書誌事項
- タイトル別名
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- Development of A Method and Inspection System for Detecting Minute Defects of Hybrid IC Pattern.
- ハイブリッド IC カイロ パターン ノ ビショウ ケッカン ケンシュツホウ
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収録刊行物
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- 映像情報メディア学会誌
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映像情報メディア学会誌 51 (3), 400-404, 1997
一般社団法人 映像情報メディア学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205098758656
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- NII論文ID
- 110003691469
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- NII書誌ID
- AN10588970
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- ISSN
- 18816908
- 13426907
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- NDL書誌ID
- 4171437
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles