Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>:Eu<sup>3+</sup>薄膜より発生するカソードルミネッセンスの超解像度顕微鏡への応用

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タイトル別名
  • Cathode Luminescence Emitted in Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>:Eu<sup>3+</sup> Thin Film as Light Source for Super-resolution Optical Microscope
  • Cathode Luminescence Emitted in Y2O3:Eu3+ Thin Film as Light Source for Super-resolution Optical Microscope

抄録

Y2O3:Eu3+蛍光体薄膜中で発生するナノメートルサイズの空間広がりを持つCLを光源とする超解像度顕微鏡について検討した．電子ビーム蒸着法によりSi3N4基板上に積層した蛍光体薄膜より発生するカソードルミネッセンスを用いて，粒径100nmの金微粒子の顕微鏡観測した結果について報告する．

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