Fibrous Growth of Titanium Nitride by Discharge

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  • 放電による繊維状窒化チタンの成長

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水素, アルゴン, 窒素および四塩化チタン混合気からの交流放電による繊維状窒化チタンの成長について検討した。支配的な因子が放電電流であることがわかった。すなわち, 高電流または低電流では窒化チタン繊維の径が増大する一方, 成長速度は低下した。最適条件はつぎのように求められた。放電電流 0.7mA, 反応器温度 500℃, アルゴン, 窒素, および四塩化チタン濃度それぞれ 20～40.8, および 0.7～0.9%。この条件のもとで 30mm/min に達する成長速度が得られ, 繊維の直径の細さは 13μ に達した。X線回折によって (111) 面の強度比が, ASTM カードの値に比して他の面より弱いことが認められたが, ラウエ模様から長距離秩序を確認することはできなかった。繊維の破断強度および直径の対数の間に直線関係が認められた。

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