EB-PVD法によるイットリア安定化ジルコニア膜の微構造制御

DOI Web Site Web Site 被引用文献15件 参考文献25件
  • 山口 哲央
    (財)ファインセラミックスセンター材料技術研究所ナノコーティングプロジェクト室
  • 和田 国彦
    (財)ファインセラミックスセンター材料技術研究所ナノコーティングプロジェクト室
  • 木村 和成
    (財)ファインセラミックスセンター材料技術研究所ナノコーティングプロジェクト室
  • 松原 秀彰
    (財)ファインセラミックスセンター材料技術研究所ナノコーティングプロジェクト室

書誌事項

タイトル別名
  • Microstructure Modification of Yttria-Stabilized Zirconia Layers Prepared by EB-PVD

この論文をさがす

抄録

Microstructures and texture of yttria-stabilized zirconia (YSZ) layers prepared by electron beam physical vapor deposition (EB-PVD) were investigated, addressing the effect of processing parameters. All the YSZ layers investigated in this study showed a columnar structure. However, significant differences were found in their microstructures. Morphology, porosity, and texture of the layers changed drastically by substrate manipulation during deposition. Without rotation, the layer showed a dense columnar structure with less intercolumnar gaps and obscure feather-like structures, and no preferred growth orientation. Rotation was very effective in developing feather-like structures within each column and hence increasing porosity. In addition, substrate rotation caused strong (100) texture. These results are attributed to the flux shadowing effect induced by oblique vapor incidence caused by substrate manipulation. The influence of electron beam power and substrate temperature was also investigated.<br>

収録刊行物

被引用文献 (15)*注記

もっと見る

参考文献 (25)*注記

もっと見る

キーワード

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ