書誌事項
- タイトル別名
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- Outlier Compensation Effect of an Optical Profiling Sensor by Elliptical Spot Irradiation
- ヒカリショクシンシキ リンカク ソクテイ センサ ノ ダエン ショウシャカ ニ ヨル イジョウチ ホセイ コウカ
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抄録
従来の光触針式輪郭測定において, 予期しない突発なピークノイズや高周波ノイズなどの異常値が生じる. この主な原因はスペックル誤差である. 既報において, スペックル誤差補正ユニットをもつ光触針式センサーを提案し良好な結果を得た. しかしながら開発したこのセンサーにおいても, 0.1 μmRa以下の表面粗さの小さな領域では異常値が残存する. 本研究では, 開発したセンサーのスポット形状を円形から楕円形にすることにより, スペックルサイズを縮小し, スペックル誤差の影響の緩和を試みた. その結果, 0.1 μmRa以下の凹凸を持つ試料においても, 触針式粗さ計と同等の測定結果が得られた.
収録刊行物
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- 精密工学会誌論文集
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精密工学会誌論文集 71 (12), 1590-1594, 2005
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205280035328
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- NII論文ID
- 110002545871
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- NII書誌ID
- AA11966630
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- ISSN
- 18818722
- 13488716
- 13488724
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- NDL書誌ID
- 7760764
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可