-
- 関口 敦
- キヤノンアネルバ株式会社 現:工学院大学(八王子) 講師
書誌事項
- タイトル別名
-
- Fundamentals of Chemical Vapor Deposition Technologies
- カガク キソウ セイチョウ(Chemical Vapor Deposition: CVD)ホウ ノ キソ
この論文をさがす
説明
本講座は化学気相成長(CVD)法の基礎に関して解説する.欠陥の少ない結晶成長や良好な被覆特性など,CVD 法を使用すると他の成膜方法では実現できない特長を得ることができる.実際にこの特長を得るためには,化学反応過程を解析し所定のプロセス条件で実施することが必要となる.本講座では CVD の定義から,この反応解析の手法と各プロセスの詳細に関して解説する.<br>
収録刊行物
-
- Journal of the Vacuum Society of Japan
-
Journal of the Vacuum Society of Japan 59 (7), 171-183, 2016
一般社団法人 日本真空学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001205293734784
-
- NII論文ID
- 130005165254
-
- NII書誌ID
- AA12298652
-
- ISSN
- 18824749
- 18822398
-
- NDL書誌ID
- 027549942
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDLサーチ
- Crossref
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可