書誌事項
- タイトル別名
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- Properties of Molecules Closely Related to Vacuum Technology
- シンクウ ニ カンレン ノ フカイ ブンシ ノ トクセイ
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説明
Creating a vacuum is to pump gas molecules in a vacuum chamber. Since outgassing properties of chamber walls and vacuum parts are of critical importance for vacuum technology, knowledge on the interaction of molecules with solid surfaces is required. We review properties of typical molecules familiar to vacuum technology and their interaction with well-defined solid surfaces.<br>
収録刊行物
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- Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ
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Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ Ｖａｃｕｕｍ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｊａｐａｎ 59 (6), 145-155, 2016
一般社団法人 日本真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205293776640
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- NII論文ID
- 130005158054
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- NII書誌ID
- AA12298652
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- ISSN
- 18824749
- 18822398
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- NDL書誌ID
- 027482111
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- 本文言語コード
- ja
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- JaLC
- NDLサーチ
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- CiNii Articles
- KAKEN
- OpenAIRE
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
