自己組織化分子リソグラフィーによるナノギャップ電極作製法の開発と応用

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  • 西野 貴幸
    理化学研究所石橋極微デバイス工学研究室 千葉大学大学院融合科学研究科ナノサイエンス専攻ナノ物性コース 現所属先:株式会社三和企画開発室
  • 根岸 良太
    大阪大学大学院工学研究科精密科学・応用物理学専攻応用物理学コースナノマテリアル領域
  • 石橋 幸治
    理化学研究所石橋極微デバイス工学研究室 千葉大学大学院融合科学研究科ナノサイエンス専攻ナノ物性コース

書誌事項

タイトル別名
  • Fabrication and Developments of Nano-gap Electrode using Self-assembled Molecular Lithography
  • ジコ ソシキカ ブンシ リソグラフィー ニ ヨル ナノギャップ デンキョク サクセイホウ ノ カイハツ ト オウヨウ

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抄録

  Recently, the research of low dimensional nano-structure with nanogap electrode has been intensively studied. In this paper, we describe the fabrication of nanogap electrodes using self-assemble lithography which has advantages of high precision, high yields, and high productivity on the fabrication. Next, single electron transistors (SETs), which consist of Nb nanogap electrode, single molecule of p-xylylenediamine, and Au nano-particle, are shown. Especially, the demonstration of these SETs is attributed to the good connection between Nb nanogap and p-xylylenediamine. Therefore, we introduce the analysis of nano-contacts between nanogap electrode and nano-materials.<br>

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