直径1.5 mmで実現する内視鏡型デジタル顕微鏡

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書誌事項

タイトル別名
  • High-accuracy endoscopic microscopy using a thin,1.5 mm diameter probe with optical coherence tomography
  • 直径1.5mmで実現する内視鏡型デジタル顕微鏡 : 微細OCTプローブでナノメートル精度のデジタル化技術
  • チョッケイ 1.5mm デ ジツゲン スル ナイシキョウガタ デジタル ケンビキョウ : ビサイ OCT プローブ デ ナノメートル セイド ノ デジタルカ ギジュツ
  • 微細—OCTプローブでナノメートル精度のデジタル化技術—
  • — Disturbance of the sea floor by huge earthquakes and their related tsunamis, and the use of disturbance records in marine sediments for the history of past huge earthquakes and tsunamis —

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説明

20 nmの精度で内部を非接触で計測可能な直径1.5 mmの内視鏡型の顕微鏡を製作した。眼科等で生体計測に利用される光干渉断層法（OCT: Optical Coherence Tomography）の光源を高安定化し、工業用に精度を高めた。プローブ直径が1.5 mm以下で、内蔵された微小径モーター2個により軸方向スキャニングと回転方向スキャニングとを行い、試料内筒に挿入することで、内側を全周計測することが可能となった。光はプローブ挿入方向に対して側射されており、測定更新レートは毎秒60フレームである。わずかな隙間から挿入することで高精度計測が可能となる装置は、分解点検の負担が減少させられ、日常点検管理を信頼の高いものにすることができる。

収録刊行物

  • Synthesiology

    Synthesiology 11 (1), 23-32, 2017

    国立研究開発法人 産業技術総合研究所

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