真空ポンプの排気速度測定について

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タイトル別名
  • シンクウ ポンプ ノ ハイキ ソクド ソクテイ ニ ツイテ

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説明

近頃では、真空装置には、電離真空計やフイリツプス真空計、或は、熱電対真空計等が附属しており、10-5mmHg以上の高真空でも、わりあい手軽に測定されている。そして使用される拡散ポンプや廻転ポンプも、排気速度を知つた上で、どの程度の大きさの真空装置には、どの程度の排気速度のポンプを取付ければよいかとゆうこともわりあい合理的に算出されるようになつた。<BR>しかし、実際に真空度を測定する場合には適当な注意が必要で、もしこれを忘れると、切角電離真空計を使つて正確に真空度を測定したつもりでも、熱陰極から放出されるガスによる圧力を測つていたり、真空計を装置にとりつけるための配管の吸着ガスによる圧力を測定してみたりして、なやまされる。<BR>真空ポンプの排気速度測定においても、要するに圧力測定の問題に帰着されるから、真空計の正しい使い方が基本になる。それ以上に、真空計の取付位置の問題、流量測定の問題との二つが入つて来る。以上の三点を中心にして、具体的な例を挙げながら、排気速度の測定法について述べる。

収録刊行物

  • 真空工業

    真空工業 3 (3), 76-81, 1956

    一般社団法人 日本真空学会

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