書誌事項
- タイトル別名
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- Development of magnetically driven micro valve using SU-8/Fe composite
- SU-8/Fe コンポジット オ モチイタ ジキ クドウガタ マイクロバルブ ノ カイハツ
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抄録
In this study, we propose a magnetically driven micro valve made of magnetic composite with thick negative photoresist SU-8 and magnetic particles. It is able to fabricate a magnetically driven element using simple processing method based on micromachining technology by magnetic composite. To evaluate performance of the proposed microvalve, driving test under the external magnetic field was carried out. A prototype of the microvalve has the flow rate reduction rate of about 60%, and pressure resistance of 9 kPa.
収録刊行物
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- 日本AEM学会誌
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日本AEM学会誌 23 (2), 407-413, 2015
日本AEM学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205504460416
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- NII論文ID
- 130005098688
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- NII書誌ID
- AN10457520
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- ISSN
- 21879257
- 09194452
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- NDL書誌ID
- 026626649
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- 本文言語コード
- en
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可