エアロゾルデポジションによるAlN微細結晶における結晶構造変化
書誌事項
- タイトル別名
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- Crystal structure transformation of very small AlN crystallites in aerosol deposition
説明
エアロゾルデポジション法によって作製した窒化アルミニウム膜はおよそ100nm以下の微細結晶によって構成されるが、中でも数十nm以下の結晶には、常温大気圧下で通常存在する六方晶AlNではなく、高圧下で安定な立方晶のAlNが観察されることがある。エアロゾルデポジション成膜条件による、膜内での立方晶結晶の割合の変化について実験的に検討した。キャリアガス流量や原料粉末の前処理条件が大きな影響を与える。これらの結果から、六方晶から立方晶への変化は、粉末が膜へ衝突するときの衝撃によって引き起こされるものと考えられる。
収録刊行物
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- 日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
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日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2004F (0), 133-133, 2004
公益社団法人 日本セラミックス協会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205614038400
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- NII論文ID
- 130006970039
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
