スピンコーティングにより作製されるシリカ/ポリビニルピロリドンハイブリッド薄膜におけるradiative striationの形成に関する基礎的研究

書誌事項

タイトル別名
  • Studies on formation of radiative striations on spin-on silica/polyvinylpyrrolidone hybrid thin films

説明

ポリビニルピロリドン(PVP)共存下でテトラエトキシシラン(TEOS)を加水分解してゾルを作製し,スピンコーティングによってシリカ/PVPハイブリッド薄膜を作製した。薄膜の表面に生じる放射状凹凸(radiative striation)の高低差と幅を触針式表面粗さ計によって定量的に評価した。PVP/TEOSモル比の増加とともに膜厚が増大し,それに伴って放射状凹凸の高低差が大きくなること,また,膜を熱処理すると膜厚が減少し,放射状凹凸の幅の変化を伴わずに高低差だけが減少することを明らかにした。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205614499072
  • NII論文ID
    130006970714
  • DOI
    10.14853/pcersj.2004s.0.426.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ