Synthesis of Boron Nitride Thin Films by PLD Method

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  • PLD法を用いた窒化ホウ素薄膜の合成

Abstract

本研究では、PLD法と窒素ラジカル照射を組み合わせることにより種々の条件でalpha-Al2O3、MgO基板上に長距離秩序を持つ窒化ホウ素薄膜を合成し、その構造について調べた。またPLD法を用いた交互蒸着によりアルカリ金属、アルカリ土類金属を窒化ホウ素の層間へドープすることを試みた。

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  • CRID
    1390001205618165376
  • NII Article ID
    130006976526
  • DOI
    10.14853/pcersj.2009f.0.2pg11.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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