Synthesis of Boron Nitride Thin Films by PLD Method
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- Anzai Atsushi
- Hiroshima University
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- Inumaru Kei
- Hiroshima University
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- Yamanaka Shoji
- Hiroshima University
Bibliographic Information
- Other Title
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- PLD法を用いた窒化ホウ素薄膜の合成
Description
本研究では、PLD法と窒素ラジカル照射を組み合わせることにより種々の条件でalpha-Al2O3、MgO基板上に長距離秩序を持つ窒化ホウ素薄膜を合成し、その構造について調べた。またPLD法を用いた交互蒸着によりアルカリ金属、アルカリ土類金属を窒化ホウ素の層間へドープすることを試みた。
Journal
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- Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan<br> Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan
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Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan<br> Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan 2009F (0), 2PG11-2PG11, 2009
The Ceramic Society of Japan
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205618165376
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- NII Article ID
- 130006976526
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed