エアロゾルデポジション法の実用化
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- 伊藤 朋和
- TOTO
書誌事項
- タイトル別名
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- Commercialization of aerosol deposition
説明
エアロゾルデポジション法（以後、ＡＤ法と記述）は、エアロゾル中に含まれるセラミックスの微粒子を基材に吹き付けることによって、セラミックスの緻密な膜を常温で形成させる製膜方法である。工業利用を前提とした研究開発を進め、大面積が可能な独自の製膜装置を開発した。ここでは、AD法の量産化に成功している半導体製造装置部品向けの耐プラズマコート部材の開発事例を中心に、AD法の特徴と今後の展開について紹介する。
収録刊行物
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- 日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集
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日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集 2011F (0), 850-850, 2011
公益社団法人 日本セラミックス協会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205620439296
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- NII論文ID
- 130006980127
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
