残留振動の同定手法の構築とInput Shaping による 半導体ウェハ搬送ロボットアームの制振制御

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タイトル別名
  • Vibration Suppression Control of Semiconductor Wafer Transfer Robot by Building an Integrated Tool of Parameter Identification and Input Shaping

説明

産業用ロボットアームの高速作動によって生じる残留振動は生産性を低下 させる要因となる．残留振動を抑制するためにInput Shaping制御を用いる．こ の方法では残留振動の固有振動数と減衰係数を必要となる．製造現場において振 動問題を解析・解決するため，高次振動に対する同定と振動抑制の効果的統合手 法を提案し，半導体ウェハ搬送ロボットアームにこの手法を適用し，実験により 動作時間を縮小できることを示す．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205645625600
  • NII論文ID
    130005026084
  • DOI
    10.11511/jacc.54.0.257.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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