Charge compensation method in XPS with flood gun and positive specimen bias
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- SHIMA MASAHIDE
- JEOL Ltd.
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- TUTUMI KENICHI
- JEOL Ltd.
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- TAZAWA TOYOHIKO
- JEOL Ltd.
Bibliographic Information
- Other Title
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- 中和銃と試料バイアス印加を用いたXPSにおける帯電補正方法
Abstract
XPSを用いた化学結合状態分析では、ピーク半値幅が重要なパラメータである。しかし、絶縁物試料を測定すると帯電の影響により、ピーク半値幅が広がるため、中和銃などを用いて補正を行う。しかし、その際の中和条件が適切かどうかを判断するのは、かなりの経験を要するのが現状である。今回、中和銃を用いながら正の試料バイアスを印加することで、簡単に最狭のピーク半値幅が測定できる方法について報告する。
Journal
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- Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan
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Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 27 (0), 200-200, 2007
The Surface Science Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205646188544
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- NII Article ID
- 130004673762
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed