Charge compensation method in XPS with flood gun and positive specimen bias

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  • 中和銃と試料バイアス印加を用いたXPSにおける帯電補正方法

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XPSを用いた化学結合状態分析では、ピーク半値幅が重要なパラメータである。しかし、絶縁物試料を測定すると帯電の影響により、ピーク半値幅が広がるため、中和銃などを用いて補正を行う。しかし、その際の中和条件が適切かどうかを判断するのは、かなりの経験を要するのが現状である。今回、中和銃を用いながら正の試料バイアスを印加することで、簡単に最狭のピーク半値幅が測定できる方法について報告する。

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  • CRID
    1390001205646188544
  • NII Article ID
    130004673762
  • DOI
    10.14886/sssj.27.0.200.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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