C60イオンスパッタリングを用いた有機物のXPS化学状態分析

書誌事項

タイトル別名
  • XPS chemical sate analysis of organic films using C60 ion sputtering

説明

C60イオンスパッタリングを深さ方向XPS分析に応用した。C60は、従来知られているArスパッタリングと異なり、試料の化学構造の損傷が小さいエッチングが可能であるが、炭素の残留(射ち込み)が懸念される。今回、イオンビームの照射条件を最適化してPET試料に適用したところ、炭素の増加が少なく、エッチング後の化学状態分析が可能であることを見出した。講演当日は、各種有機物への応用についても報告する。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205646949376
  • NII論文ID
    130004673128
  • DOI
    10.14886/sssj.24.0.104.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ