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XPS chemical sate analysis of organic films using C60 ion sputtering
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- Sanada Noriaki
- ULVAC-PHI
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- Miyayama Takuya
- ULVAC-PHI
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- Yamamoto Akira
- ULVAC-PHI
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- Oiwa Retsu
- ULVAC-PHI
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- Ohashi Yoshiharu
- ULVAC-PHI
Bibliographic Information
- Other Title
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- C60イオンスパッタリングを用いた有機物のXPS化学状態分析
Description
C60イオンスパッタリングを深さ方向XPS分析に応用した。C60は、従来知られているArスパッタリングと異なり、試料の化学構造の損傷が小さいエッチングが可能であるが、炭素の残留(射ち込み)が懸念される。今回、イオンビームの照射条件を最適化してPET試料に適用したところ、炭素の増加が少なく、エッチング後の化学状態分析が可能であることを見出した。講演当日は、各種有機物への応用についても報告する。
Journal
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- Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan
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Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 24 (0), 104-104, 2004
The Surface Science Society of Japan
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205646949376
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- NII Article ID
- 130004673128
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed