C60イオンスパッタリングを用いた有機物のXPS化学状態分析
書誌事項
- タイトル別名
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- XPS chemical sate analysis of organic films using C60 ion sputtering
説明
C60イオンスパッタリングを深さ方向XPS分析に応用した。C60は、従来知られているArスパッタリングと異なり、試料の化学構造の損傷が小さいエッチングが可能であるが、炭素の残留(射ち込み)が懸念される。今回、イオンビームの照射条件を最適化してPET試料に適用したところ、炭素の増加が少なく、エッチング後の化学状態分析が可能であることを見出した。講演当日は、各種有機物への応用についても報告する。
収録刊行物
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- 表面科学講演大会講演要旨集
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表面科学講演大会講演要旨集 24 (0), 104-104, 2004
公益社団法人 日本表面科学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205646949376
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- NII論文ID
- 130004673128
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可