XPS chemical sate analysis of organic films using C60 ion sputtering

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  • C60イオンスパッタリングを用いた有機物のXPS化学状態分析

Description

C60イオンスパッタリングを深さ方向XPS分析に応用した。C60は、従来知られているArスパッタリングと異なり、試料の化学構造の損傷が小さいエッチングが可能であるが、炭素の残留(射ち込み)が懸念される。今回、イオンビームの照射条件を最適化してPET試料に適用したところ、炭素の増加が少なく、エッチング後の化学状態分析が可能であることを見出した。講演当日は、各種有機物への応用についても報告する。

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205646949376
  • NII Article ID
    130004673128
  • DOI
    10.14886/sssj.24.0.104.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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