Absolute measurement of flatness with three fflats method

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  • 3交点基準を用いた絶対平面形状測定

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平面度の干渉測定において3面合わせ法を用いれば直交する2本の線の絶対形状が得られる。次に被測定面を横シフトして回転させることで、この2本の線上の、交点から離れたある1点同士を互いに結ぶ線の絶対形状を求めると、平面上の3点を通る3本の線の絶対形状が得られることになる。

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  • CRID
    1390001205647847296
  • NII Article ID
    130005026748
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2003a.0.458.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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