Ultra-precise Machine with 6 DOF Perfect Relative Motion between Tool and Workpiece

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  • ワーク·ツール間の6自由度完全相対運動を目指した超精密機械の開発

Abstract

超精密な機械の実現のためには各機械要素の性能向上だけではなく,機械全体の運動精度や内外乱すなわち外力や熱などの影響を受けずにワークとツールの相対位置精度を保証するメカニズムが要求される.本研究ではワークの載る定盤とツールとの間の6自由度相対運動をパラレルメカニズムを利用して正確に計測し,このデータを用いて機械を能動的に補正するシステムを提案する.本報ではコンセプトとシステムについて詳述する.<br>

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205648205824
  • NII Article ID
    130004655800
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2004a.0.542.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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