ナノフォーミングによるガラスの微細加工特性
書誌事項
- タイトル別名
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- Nano/micro fabrication of glass by nano forming
抄録
各種ガラス板などの硬脆材料の微細塑性加工技術を検討した.サブミクロンオーダーの微細突起を持つダイヤモンド工具をFIBによって作製し,それを用いてガラスへ直接スタンピング加工を行った.これによりサブミクロンオーダーの凹凸が塑性加工により効率よく行えることを示した.さらに,ナイフエッジ型の工具を用いて押込み加工を行った.加工痕に対して,加工形状の観察及び加工特性の検討を行った.
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2005A (0), 115-116, 2005
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205648634368
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- NII論文ID
- 130004656730
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可