Development of ultra precise gear measuring instruments

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  • 超高精度歯車測定機の開発
  • 第1報　主軸精度及び送り精度の評価

Abstract

サブミクロンオーダの高精度歯車を製作する要求に応ずるため超精密歯車精度測定機を開発した。機構は純機械式であり直交XYZ軸方向の直進は超精密ねじ送り,回転θ軸回りは内歯車を主とした平歯車減速,それらの駆動にはパルスモータを使っている。XYZ方向のストロークは各々160,150,130mmガイドは2本の平行円柱支持の静圧空気軸受を用い直進方向0.1～0.3μm軸芯精度0.05μm以内の精度を得ている。

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  • CRID
    1390001205648641408
  • NII Article ID
    130005026940
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2003a.0.673.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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