マイクロピペットプローブを有するSPMによる超微細表面加工法の開発

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タイトル別名
  • Nanometer-Scale Modification using Scanning Probe Microscope with a micropipette probe

抄録

近年、電子デバイスやマイクロ・ナノマシンはますます微細化し、精密加工の更なる高精度化が要求されている。これらの超微細加工法として走査型プローブ顕微鏡を用いた加工法は現在盛んに研究されている。<br>　本報告では溶液試薬が充填可能なマイクロピペットプローブを用いたSPMを開発し、それを用いた新しい超微細加工法について述べる。ポリマー、金属、シリコン表面におけるナノスケール加工特性について報告する。

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  • CRID
    1390001205648662528
  • NII論文ID
    130005026942
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2003a.0.676.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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