IBFによる光学素子材料の加工 第4報

DOI
  • 白崎 吉徳
    東京理科大学 基礎工学研究科 電子応用工学専攻
  • 岩瀬 浩太郎
    東京理科大学 基礎工学研究科 電子応用工学専攻
  • 谷口 淳
    東京理科大学 基礎工学研究科 電子応用工学専攻
  • 宮本 岩男
    東京理科大学 基礎工学研究科 電子応用工学専攻
  • 沼田 敦史
    キヤノン 生産技術研究所 機械加工第1研究室
  • 安藤 学
    キヤノン 生産技術研究所 機械加工第1研究室

書誌事項

タイトル別名
  • Ion beam fabrication of optical material
  • イオンビームの安定性について

抄録

EUVLの反射光学系に用いられる非球面ミラーの形状修正にはイオンビーム加工が適当と考えられる。イオンビーム加工による形状修正では滞留時間制御を行うが、それにはイオンビームの時間的安定が重要である。<br>本実験では酸素、Arイオンビームのどちらが安定して加工できるかを、加工形状分布をガウスフィッティングし、イオン電流密度分布との関係より調べた。また加工試料に絶縁物を用い、帯電が加工に及ぼす影響を調べた。<br>

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205648841728
  • NII論文ID
    130004655675
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2004a.0.400.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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