IBFによる光学素子材料の加工 第4報
書誌事項
- タイトル別名
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- Ion beam fabrication of optical material
- イオンビームの安定性について
抄録
EUVLの反射光学系に用いられる非球面ミラーの形状修正にはイオンビーム加工が適当と考えられる。イオンビーム加工による形状修正では滞留時間制御を行うが、それにはイオンビームの時間的安定が重要である。<br>本実験では酸素、Arイオンビームのどちらが安定して加工できるかを、加工形状分布をガウスフィッティングし、イオン電流密度分布との関係より調べた。また加工試料に絶縁物を用い、帯電が加工に及ぼす影響を調べた。<br>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2004A (0), 400-400, 2004
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205648841728
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- NII論文ID
- 130004655675
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可