Ion beam fabrication of optical material

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  • IBFによる光学素子材料の加工 第4報
  • イオンビームの安定性について

Abstract

EUVLの反射光学系に用いられる非球面ミラーの形状修正にはイオンビーム加工が適当と考えられる。イオンビーム加工による形状修正では滞留時間制御を行うが、それにはイオンビームの時間的安定が重要である。<br>本実験では酸素、Arイオンビームのどちらが安定して加工できるかを、加工形状分布をガウスフィッティングし、イオン電流密度分布との関係より調べた。また加工試料に絶縁物を用い、帯電が加工に及ぼす影響を調べた。<br>

Journal

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205648841728
  • NII Article ID
    130004655675
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2004a.0.400.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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