Ion beam fabrication of optical material
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- Shirasaki Yoshinori
- Tokyo University of Science
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- Iwase Koutarou
- Tokyo University of Science
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- Taniguti Jun
- Tokyo University of Science
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- Miyamoto Iwao
- Tokyo University of Science
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- Numata Atushi
- Canon
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- Ando Manabu
- Canon
Bibliographic Information
- Other Title
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- IBFによる光学素子材料の加工 第4報
- イオンビームの安定性について
Description
EUVLの反射光学系に用いられる非球面ミラーの形状修正にはイオンビーム加工が適当と考えられる。イオンビーム加工による形状修正では滞留時間制御を行うが、それにはイオンビームの時間的安定が重要である。<br>本実験では酸素、Arイオンビームのどちらが安定して加工できるかを、加工形状分布をガウスフィッティングし、イオン電流密度分布との関係より調べた。また加工試料に絶縁物を用い、帯電が加工に及ぼす影響を調べた。<br>
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2004A (0), 400-400, 2004
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205648841728
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- NII Article ID
- 130004655675
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed