Development of nano-Probe
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- Enami Kazuhiro
- The Univecity of Tokyo
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- Usuki Shin
- The Univecity of Tokyo
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- Hiraki Masahiko
- High Energy Accelerator Research Organization
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- Takamasu Kiyoshi
- The Univecity of Tokyo
Bibliographic Information
- Other Title
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- nano-Probeシステムの開発(第10報)
- nano-CMMに搭載しての測定実験
Description
本研究では,従来の三次元測定機では困難な微小な工業部品のナノメートルオーダでの三次元形状測定が可能なnano-CMMの開発を進めている. nano-CMMには,測定対象物との接触を高精度かつ低測定力で検出可能な小型プローブが必要不可欠である.そこで現在nano-CMMに搭載するnano-Probeシステムの開発を行っている. 本報では,更なる光学系の検討を加えて,小型でかつナノメートルオーダの分解能を持つnano-Probeを完成させ,nano-CMMに搭載してオブジェクトを用いた測定実験を行う.
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2002A (0), 630-630, 2002
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205649617792
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- NII Article ID
- 130007002168
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed