Development of nano-Probe

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  • nano-Probeシステムの開発(第10報)
  • nano-CMMに搭載しての測定実験

Description

本研究では,従来の三次元測定機では困難な微小な工業部品のナノメートルオーダでの三次元形状測定が可能なnano-CMMの開発を進めている. nano-CMMには,測定対象物との接触を高精度かつ低測定力で検出可能な小型プローブが必要不可欠である.そこで現在nano-CMMに搭載するnano-Probeシステムの開発を行っている. 本報では,更なる光学系の検討を加えて,小型でかつナノメートルオーダの分解能を持つnano-Probeを完成させ,nano-CMMに搭載してオブジェクトを用いた測定実験を行う.

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205649617792
  • NII Article ID
    130007002168
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2002a.0.630.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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