nano-Probeシステムの開発(第10報)
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of nano-Probe
- nano-CMMに搭載しての測定実験
説明
本研究では，従来の三次元測定機では困難な微小な工業部品のナノメートルオーダでの三次元形状測定が可能なnano-CMMの開発を進めている． nano-CMMには，測定対象物との接触を高精度かつ低測定力で検出可能な小型プローブが必要不可欠である．そこで現在nano-CMMに搭載するnano-Probeシステムの開発を行っている． 本報では，更なる光学系の検討を加えて，小型でかつナノメートルオーダの分解能を持つnano-Probeを完成させ，nano-CMMに搭載してオブジェクトを用いた測定実験を行う．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2002A (0), 630-630, 2002
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205649617792
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- NII論文ID
- 130007002168
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可