高精度自由曲面形状測定装置の開発（第3報）
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of a high precision free-form measurement machine (3rd report)
- 両面同時測定方式
- 公開日
- 2002
- DOI
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- 10.11522/pscjspe.2002a.0.632.0
- 公開者
- 公益社団法人 精密工学会
説明
ナノメートルオーダーの測定精度を有する自由曲面レンズ測定装置に関する(1)装置構成自由曲面レンズに対応するため接触式のプローブを採用．さらにプローブを2つ設け，両面を同時に測定する事によって測定時間を短縮し，高精度な上下面の相対位置測定精度を実現した．(2)誤差要因と補正方法大きな誤差要因となる，上下プローブの位置ずれ，および測定軸間の直角度補正について新しい方法を提案する．(3)測定結果平面，球面，非球面について測定し，ほぼ次の目標精度を達成した．繰り返し性5nmRMS 偏り誤差5nmRMS
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2002A (0), 632-632, 2002
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205649622784
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- NII論文ID
- 130007002174
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可