Development of Broadband LiNbO<sub>3</sub> Optical Modulators using Sandblast Method
Bibliographic Information
- Other Title
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- 広帯域LiNbO<sub>3</sub>光変調器作製へのサンドブラスト法の適用
Abstract
LiNbO3(LN)基板を用いた広帯域光通信用変調器の開発に、サンドブラスト法による基板加工の適用を試みた。高周波(>20GHz)では基板へのマイクロ波の放射損失が顕著であり、基板を薄く加工して損失を抑えることが重要である。そこで我々は、サンドブラスト法を用いて、電極下部の基板厚さを200μm以下に部分加工する一連のプロセス技術に関する研究を行った。加工条件の選択やマスクパタンの工夫により、加工の制御性が向上し、4インチ基板(厚さ1mm)の部分肉薄加工が可能になった。本加工法をLN変調器の試作に適用したところ、高周波特性が大幅に改善し、光帯域40GHzを達成した。
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2002A (0), 490-490, 2002
The Japan Society for Precision Engineering
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205649901184
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- NII Article ID
- 130007002259
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed