三次元ダイヤモンド金型を用いたパターン転写
書誌事項
- タイトル別名
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- Pattern transfer Characteristics using three-dimensional diamond mold
説明
ダイヤモンドは高硬度、高熱伝導率等の優れた特性を有しているため、パターン転写用の金型に最適の材料である。本研究室では、これまでにダイヤモンド上にマイクロオーダーで三次元のパターンを形成することに成功している。この三次元ダイヤモンド金型を用いて、いろいろな物質にパターン転写を行ったので報告する。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2003A (0), 215-215, 2003
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205650208128
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- NII論文ID
- 130005026531
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
