Development of ultraprecision constant pressure machining system for aspherical grinding / polishing

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  • 非球面研削·研磨用超精密定圧加工システムの開発

Abstract

超精密非球面加工用で加工機上に取り付け可能な定圧スピンドルヘッドの開発を行った。この定圧スピンドルヘッドはDCブラシレスモータおよび超低摩擦駆動の特殊エアーシリンダーからできており、微小圧力で加圧しながら工具を回転させて加工することができる。このスピンドルヘッドの加圧力はPCから制御·監視可能であり、また加工機の位置決め制御および現在位置座標の取得も同一のPCで行うことができる。これによって粗研削から仕上げ加工までを同一の加工機上で実現可能であり、機上計測との複合化やイントラネットを利用した加工進捗状況のモニタリングなども可能である。

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  • CRID
    1390001205650405120
  • NII Article ID
    130007002378
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2002a.0.419.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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