IBFによる絶縁物の加工
書誌事項
- タイトル別名
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- Ion Beam Figuring of insulators
- 電子ビームによる帯電の除去
抄録
EUVリソグラフィー装置の非球面ミラー基板の最終形状修正には，ナノメートルオーダの超微細加工精度が必要となっている．この加工技術としてイオンビーム加工が有力視されている．イオンビーム加工では被加工物が電気的に絶縁物である場合，イオンが表面に帯電してしまい，加工が不安定になる．本報告では，絶縁物をイオンビーム加工中に電子を照射しながら加工を行い，この時の加工特性を評価したのでこれについて報告する．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2006A (0), 965-966, 2006
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205651139072
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- NII論文ID
- 130004658447
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可