Ion Beam Figuring of insulators

DOI

Bibliographic Information

Other Title
  • IBFによる絶縁物の加工
  • 電子ビームによる帯電の除去

Abstract

EUVリソグラフィー装置の非球面ミラー基板の最終形状修正には，ナノメートルオーダの超微細加工精度が必要となっている．この加工技術としてイオンビーム加工が有力視されている．イオンビーム加工では被加工物が電気的に絶縁物である場合，イオンが表面に帯電してしまい，加工が不安定になる．本報告では，絶縁物をイオンビーム加工中に電子を照射しながら加工を行い，この時の加工特性を評価したのでこれについて報告する．

Journal

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205651139072
  • NII Article ID
    130004658447
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2006a.0.965.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

Report a problem

Back to top