Development of a three-axis angle sensor

DOI

Bibliographic Information

Other Title
  • ３軸角度センサに関する研究
  • Improvement of the rolling sensor sensitivity
  • 第３報：ローリングセンサ感度の向上

Abstract

本研究では超精密ステージ等の運動体の姿勢制御並びに角度運動誤差の検出に用いるための３軸回り（ピッチング，ヨーイング，ローリング）の微小角度を，矩形格子とオートコリメーション法を組み合わせた角度検出原理により一括検出する事が可能な高感度３軸角度センサの開発を行っている．本報ではアフォーカル光学系による変位量拡大機構を用いる事で主にローリング方向角度検出感度の向上を試みた事を報告する．

Journal

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205651184640
  • NII Article ID
    130004659354
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2009a.0.797.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

Report a problem

Back to top