シンクロトロン放射光用ミラーのための超精密非球面形状測定装置の開発

DOI
  • 遠藤 勝義
    大阪大学　工学研究科　精密科学応用物理専攻
  • 森 勇藏
    大阪大学　工学研究科　精密科学応用物理専攻
  • 鷹家 優一
    大阪大学　工学研究科　精密科学応用物理専攻
  • 東 保男
    高エネルギー加速器研究機構　機械工作センター
  • 久米 達哉
    高エネルギー加速器研究機構　機械工作センター
  • 江並 和宏
    高エネルギー加速器研究機構　機械工作センター

書誌事項

タイトル別名
  • Development of ultra precision aspherical form measurement equipment for synchrotron radiation mirror

説明

X線やEUVLに使用される高精度X線ミラー製作のための、超精密形状計測装置の開発を行った。高精度な回転運動を用いて、ミラー面上での光の入反射光を一致させることで法線ベクトルの測定を行う。これまでに、ゴニオメータの回転精度と測定中のミラー保持方法が問題となっていた。そこで今回、ゴニオメータの角度校正とミラー保持による変形シミュレーションを行い、X線集光用楕円ミラーの形状計測を行った結果を報告する。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205651246592
  • NII論文ID
    130005027107
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2006s.0.1055.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

問題の指摘

ページトップへ