ナノチューブ探針を用いたSTM加工による微小構造体の作製
抄録
将来活用が期待されるナノマシンやナノデバイスのような三次元的な構造体の作製にはナノスケールでの加工技術が必要である。そこで本研究ではナノチューブプローブを用いて微小構造体の作製を試みた。W線にナノチューブを付着させ、走査型トンネル顕微鏡を用いて加工を行った。バイアス電圧-4V,トンネル電流1ｎA,加工時間15minの加工条件で加工高さ約50nm、幅200nmの構造体の作製が可能であった。
収録刊行物
-
- 精密工学会学術講演会講演論文集
-
精密工学会学術講演会講演論文集 2007A (0), 707-708, 2007
公益社団法人 精密工学会
- Tweet
キーワード
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001205651499008
-
- NII論文ID
- 130005028069
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可