ナノチューブ探針を用いたSTM加工による微小構造体の作製

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Abstract

将来活用が期待されるナノマシンやナノデバイスのような三次元的な構造体の作製にはナノスケールでの加工技術が必要である。そこで本研究ではナノチューブプローブを用いて微小構造体の作製を試みた。W線にナノチューブを付着させ、走査型トンネル顕微鏡を用いて加工を行った。バイアス電圧-4V,トンネル電流1ｎA,加工時間15minの加工条件で加工高さ約50nm、幅200nmの構造体の作製が可能であった。

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  • CRID
    1390001205651499008
  • NII Article ID
    130005028069
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2007a.0.707.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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