100Gを超える超高加速リニアモータとその精密位置決め

  • 佐藤 海二
    東京工業大学 大学院総合理工学研究科メカノマイクロ工学専攻
  • 湯浅 浩章
    東京工業大学 大学院総合理工学研究科メカノマイクロ工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Over 100G Ultrahigh Acceleration Linear Motor and its Precision Positioning

説明

近年,精密位置決め機構において,高加速度性能が高精度と同様に重要になっている.本研究の目的は,次世代の産業機械のために,100Gを超える超高加速度で運動可能なリニアモータを設計・製作し,精密位置決めを実現することにある.そのために,まずこれまで設計・試作した超高加速リニアモータの可動部を軽量化し,平均静推力密度1,000N/kg以上,加速度100G(980m/s2) 以上を達成した.ついで制御系を改良し,500nmの位置決め精度を実現した.本報ではその方法や結果について報告する.

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205651571200
  • NII論文ID
    130004658388
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2006a.0.859.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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