Basic Study on Effect of Dressing Method on Pad Surface Characteristics in Polishing Technique
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- Uneda Michio
- Kanazawa Institute of Technology
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- Okabe Kenji
- Graduate School of Kanazawa Institute of Technology
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- Moriya Norihiko
- Fujikoshi Machinery Corp.
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- Kobayashi Takumi
- Fujikoshi Machinery Corp.
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- Shibuya Kazukata
- Fujikoshi Machinery Corp.
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- Ishikawa Ken-ichi
- Kanazawa Institute of Technology
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- Suwabe Hitoshi
- Kanazawa Institute of Technology
Bibliographic Information
- Other Title
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- ポリシングにおけるドレス条件がパッド表面性状に及ぼす影響に関する基礎研究
Abstract
本研究ではポリシングにおいて用いられるパッド表面性状を定量的に評価できるパラメータを実験的に検討すると同時に，ドレス条件の違いが当該パラメータに及ぼす影響を明らかにすることを目的としている．その結果，表面粗さ曲線の標準偏差値，並びにダブプリズムを用いて取得した画像の解析値としての接触率，接触点数，空間FFT解析値が有効であることを示した．
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2008A (0), 849-850, 2008
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205651753728
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- NII Article ID
- 130004658868
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed