ラップ定盤の溝内部のスラリー流れに関する研究

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タイトル別名
  • Study on slurry flow in groove of lapping plate

抄録

スライシングされたシリコンウェハーを加工するラップ定盤にはスラリーの均一な介在と加工精度の向上を目的とした溝が目切りされている．しかしながら，その溝の効果については不明な点が多い．そこで，本研究では無色透明なソーダガラスに目切り定盤をイメージした溝を加工し，その溝内部のスラリー流れを観察した．また，交差する2本の溝の交点でのスラリー流れ等についても検討した結果を述べる．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205651888256
  • NII論文ID
    130004659108
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2009a.0.353.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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