アモルファスNi-P合金モールドによるパイレックスガラスのナノインプリント

DOI
  • 銘苅 春隆
    産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
  • 北谷 武
    佐和鍍金工業 品質技術セクション
  • 山下 満
    兵庫県立工業技術センター 材料技術部
  • 高橋 正春
    産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門

書誌事項

タイトル別名
  • Nanoimprint of Pyerx glass using amorphous Ni-P alloy mold

抄録

アモルファスNi-Pモールドを作製し、パイレックスガラス基板に線幅1um以下のライン&スペースパターンをインプリントする事に成功した。適正な割合でNi-P無電解鍍金を行うと、アモルファス化したNi-P合金を得ることができる。X線回折スペクトルの測定結果から、最適なNi-Pの組成比はNi:P =92 wt.% : 8 wt.%であった。また、FIBにて線幅1um以下のライン&スペースパターンを加工し、アモルファスNi-P合金の加工面が非常に滑らかであることを確認した。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205652377984
  • NII論文ID
    130005028287
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2007s.0.1099.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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