レーザー・集束イオンビーム複合加工に関する研究(第1報)
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- Yamagishi Hikaru
- Nagano Prefecture General Indistrial Technology Center
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- Yoshida Yoshikazu
- Toyo University
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- Sakagami Eimatsu
- Nagano Techno Foundation
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- Moriya Toshihiro
- Nomura Unison Co.,Ltd.
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- Masuzawa Tsuneaki
- 平出精密 営業技術課
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- Yajima Masao
- Takano Co.,Ltd.
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- Ikeda Hiromichi
- Nagano Prefecture General Indistrial Technology Center
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- Osaka Hajime
- Nagano Prefecture General Indistrial Technology Center
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- Oguchi Keigo
- Nagano Prefecture General Indistrial Technology Center
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- Wakabayashi Yuji
- Nagano Prefecture General Indistrial Technology Center
Bibliographic Information
- Other Title
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- レーザー・集束イオンビーム複合加工機の開発
Abstract
超精密微細な表面構造を持つ光学部品や、マイクロ医療用デバイスなどの加工を実現するために、ミリメートルからセンチメートルサイズの面積を、ナノメートルからマイクロメートオーダーで加工できる「レーザー・集束イオンビーム複合加工機」を開発した。この加工機は、FIBと3種類のレーザー、そしてAFMを有し、工作物の着脱無しで機上計測しながら、デバイス形状の全体に亘り、超精密微細三次元構造を加工できる。
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2008S (0), 955-956, 2008
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205652421120
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- NII Article ID
- 130005029385
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed