CVDダイヤモンド膜の定圧研削と精密研磨技術の研究

DOI

Abstract

CVDダイヤモンドは単結晶ダイヤモンドと同様の優れた特徴を持つことから、切削工具などへ応用が期待されている。しかし、従来の加工法では加工変質層が発生すること、加工に長時間要することが問題である。本研究では、難加工材であるCVDダイヤモンド膜にダイヤモンド砥石を用いて定圧研削を行い、その後紫外線照射下で石英定盤を用いて研磨を行う新しい加工法の検討を行った。

Journal

Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205652429440
  • NII Article ID
    130004658643
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2008a.0.443.0
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

Report a problem

Back to top