Development of a surface gradient integrated profiler

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Other Title
  • 傾斜角積分法による超精密形状計測法
  • - Study on determination of the normal vector measured positions with high accuracy by self calibration -
  • 自律較正法による法線ベクトル測定点の座標の高精度化

Description

自由曲面形状をナノメータの精度で形状計測をおこなうための計測装置を開発している。ところが、曲率の大きい形状を測定するためには法線ベクトル測定点時の試料と検出器間の光路長Ｌを高精度で求めなければ、法線ベクトルから形状を求める際に形状誤差を生じる。しかし、測定装置上で高精度で光路長Ｌを計測することは困難である。そこで、測定装置上で光路長Ｌの絶対値をサブミクロンの精度で求める自立較正法を提案する。

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Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205652743680
  • NII Article ID
    130004658559
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2008a.0.291.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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