周波数可変レーザを用いたピコメートル干渉測長法の開発

DOI
  • 石下 雅史
    長岡技術科学大学 大学院工学研究科 情報制御工学専攻 明田川研究室
  • 星野 雄太
    長岡技術科学大学 大学院工学研究科 機械創造工学専攻 明田川研究室
  • Banh Quoc Tuan
    長岡技術科学大学 大学院工学研究科 機械創造工学専攻 明田川研究室
  • 屋敷 拓也
    長岡技術科学大学 大学院工学研究科 機械創造工学専攻 明田川研究室
  • 明田川 正人
    長岡技術科学大学 工学部機械系

書誌事項

タイトル別名
  • Development of laser interferometer with picometer resolution using frequency tunable laser
  • The 6th report Air refractive index fluctuation compensation for displace measuremet
  • 第六報 周波数可変レーザを用いた変位計測の屈折率変動補償

説明

精密工学の分野で広く持ちいられるレーザ干渉計の出力に混入する周期誤差と屈折率変動に対して各メーカで様々な対策が行われている。これらの問題に対して、これまでに原理的に周期誤差のない周波数可変レーザを用いた変位計測法を屈折率変動に対しては周波数可変レーザを用いた実時間屈折率変動計測法の提案を行ってきた。本報ではこれまで開発してきた双方の技術を組み合わせて変位計測の屈折率変動補償を試みたので報告する。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205652774528
  • NII論文ID
    130004658526
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2008a.0.231.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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